技术简介
本技术生产半导体级材料，并副产多种高价值硅基电子特气：硅烷，电子级氯硅烷六氯乙硅烷、TEOS等。
本技术属国家战略支持项目，可解决国外卡脖子问题。
技术优势
1）电子特气几乎零成本；
2）这两类产品为市场紧缺产品，在目前贸易战的影响下（国外收紧供货）市场持续向好；
3）技术团队经验丰富，有多个成熟项目经验。
技术成熟度
产品质量满足设计标准所需时间是目前全球已运行同类装置中最短的。
合作方式
融资。项目已与某央企达成投资意向（投资50%左右），也与一些企业达成合作意愿（20-30%左右），资金尚有部分缺口（20-30%左右）。
